自主研发软件，可视化管理，操作简单，安全可靠。 自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录; 多种菜单模式及防呆报警配置； 兼容多种通讯协议，与客户MES系统做无缝对接。
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XSS-WPH300 | |
Pin-Hole 检测机(Pin-Hole Inspection machinee） | |
设备规格/Equipment Specifications | |
主要特征/Main Features | 晶圆内部孔洞检测/Wafer Pin-hole Inspection |
主要应用/Main Applications | 晶圆内部孔洞检测/Wafer Pin-hole Inspection |
适合晶圆尺寸/Wafer Size | 300mm |
机器人/Robot | 双臂/Dual,Gripper |
工位/Station | Load Port *2；Mapping；可对接OHT |
晶圆盒类型/Cassette Type | FOUP/FOSB |
校准功能(Aligner） | 有 |
条码枪/BCR (RFID) | 可配置 |
晶圆读码（OCR） | 选配项/Options |
XY-Talbe | 有 |
工业相机/CCD | 客制化/Customization |
光源/Lighting | 客制化/Customization |
Accuracy of defects detection 缺陷检测精度 | 30um |
产量/Throughput | 120~150 Pcs/H （具体视Pin-Hole数量） |
软件/Soft ware | 1、自主研发软件，可视化管理，操作简单，安全可靠。 2、自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录; 3、多种菜单模式及防呆报警配置； 4、兼容多种通讯协议，与客户MES系统做无缝对接。 |
洁净单元/Clean Unit | FFU+Ionizer |
电力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 25A，Single Phase |
压空/Dry air | 0.6~0.8Mpa; 90L/min （￠8mm air tube） |
真空/Vacuum | -80~-70kPa; 25L/min （￠6mm air tube） |
设备尺寸/Equipment Size | 2500*1600*2000mm(L*W*H) |
工作高度/Working height | 750±50mm |
重量/Weight | ~1200kg |
