欢迎访问苏州新尚思自动化设备有限公司官网!

Tel:17315821135

产品中心 Product center
联系我们 CONTACT US
  • 微信二维码 【 微信扫码咨询 】
  • 17315821135
< >
PinHole检测设备—WPH300

技术优势:
* 核心的圆度算法,超强的检出率;
* 同时具备检测和分选功能;
* 可处方设定分选多种不良种类,
* 支持多种通信协议SECS/Gem等;

全国服务热线:0512-66023466 / 17315821135


设备规格/Equipment   Specifications



主要应用/Main   Applications

晶圆内部孔洞检测/Wafer   Pin-hole Inspection

适合晶圆尺寸/Wafer Size

300mm

机器人/Robot

双臂/Dual,Gripper

工位/Station

Load   Port *2;Mapping;可对接OHT

晶圆盒类型/Cassette Type

FOUP/FOSB

校准功能(Aligner)

晶圆读码(OCR)

选配项/Options

XY-Talbe

工业相机/CCD

客制化/Customization

光源/Lighting

客制化/Customization

缺陷检测精度/Accuracy of defects detection 

10um

产量/Throughput

~150   Pcs/H (具体视Pin-Hole数量)

软件/Soft ware

1. 自主研发软件,可视化管理,操作简单,安全可靠。

2. 自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录;

3. 多种菜单模式及防呆报警配置;

4. 兼容多种通讯协议,与客户MES系统做无缝对接。

洁净单元/Clean   Unit

<Class1(Options)

电力需求/POWER

AC   220 V, 50/60 Hz, 25A,Single Phase   

压空/Dry air

 0.6~0.8Mpa; 90L/min (¢8mm air tube)

真空/Vacuum

 -80~-70kPa; 25L/min (¢6mm air tube)

重量/Weight

~1000kg


  • 网站二维码 QR code 网站二维码
  • 微信二维码 Wechat 微信二维码
栏目导航Navigation
网站首页HOME
关于我们ABOUT
产品中心PRODUCT
资讯中心NEWS
联系我们CONTACT
人才招聘RECRUITMENT
联系我们CONTACT US

电话:0512-66023466
MB:17315821135

邮箱:Sales@xssi.com.cn
E-mail:Sales@xssi.com.cn

地址:苏州吴江经济开发区辽浜路255号
Add:No. 255 Liaobang Road, Wujiang Economic Development Zone, Suzhou

版权所有:苏州新尚思自动化设备有限公司所有   备案号:苏ICP备20032919号   技术支持:易动力网络