晶圆微观检测晶圆表面孔洞
Wafer surface pin hole mricro inspection
全国服务热线:17315821135
设备规格/Equipment Specifications | |
主要特征/Main Features | 晶圆微观检测晶圆表面孔洞 Wafer surface pin hole mricro inspection |
主要应用/Main Applications | 晶圆微观检测 Wafer mricro inspection |
适合晶圆尺寸/Wafer Size | 200mm |
工位/Station | 2~4 (Options) |
机器人/Robot | 单臂/Single |
精度/Accuracy | 0.1mm |
工业相机/CCD | 客制化/customization |
影像精度/Image accuracy | ±30um |
检测模式/Inspection Modes | 微观检测/Micro Inspection |
晶圆盒类型/Cassette Type | 开放式晶圆盒/Open Cassette |
晶圆盒来源/Cassette source | 条码识别/Barcode |
产量/Throughput | >200 WPH |
末端执行器/end effector | 真空吸附/Vacuum Adsorption |
软件/Soft ware | 1.自主研发软件,可视化管理,操作简单,安全可靠。Win dows/RS232) 2.自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录 3.多种菜单模式及防呆报警配置 4.兼容多种通讯协议,与客户MES系统做无缝对接。 |
选配项/Options | 离子棒(Ionizer);高效/HEPA;监控/Monitor |
电力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 10A,Single Phase (¢8mm air tube) |
压空/Dry air | 0.4~0.6Mpa; 90L/min (¢8mm air tube) |
真空/Vacuum | -80~-70kPa (min); 25L/min (¢8mm air tube) |
设备尺寸/Equipment Size | 2600*1700*2200mm(L*W*H) |
工作高度/Working height | 750±50mm |
重量/Weight | ~1000kg |