晶圆从一个cassette转移到另一个Cassette
wafer transformation from the cassette to another cassette
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设备规格/Equipment Specifications | |
主要特征/Main Features | 晶圆从一个cassette转移到另一个Cassette wafer transformation from the cassette to another cassette |
主要应用/Main Applications | 晶圆从一个cassette转移到另一个Cassette wafer transformation from the cassette to another cassette |
适合晶圆尺寸/Wafer Size | 100/150/200mm（Options） |
工位/Station | 2 |
晶圆盒类型/Cassette Type | 开放式晶圆盒/Open Cassette |
软件/Soft ware | 1.自主研发软件，可视化管理，操作简单，安全可靠。（Windows/RS232） 2.自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录 3.多种菜单模式及防呆报警配置 4.兼容多种通讯协议，与客户MES系统做无缝对接 |
电力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 10A，Single Phase （￠8mm air tube） |
压空/Dry air | 0.4~0.6Mpa; 90L/min （￠8mm air tube） |
真空/Vacuum | -80~-70kPa (min); 25L/min （￠8mm air tube） |
设备尺寸/Equipment Size | 1200*700*1500mm(L*W*H) |
工作高度/Working height | 750±50mm |
重量/Weight | ~150kg |
